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一、清洗前的招認  
     1、石墨舟在運用逾越100次時需求操作人員及時檢查鍍膜情況，出現鍍膜反常，需求進行清洗招認。硅片在石墨舟內正常鍍膜的顏色是藍色，片內出現非藍色、多種顏色或片與片間顏色差異較大，都是鍍膜反常，需求及時招認反常原因。  
     2、由工藝人員對石墨舟的鍍膜情況進行剖析后，確定石墨舟是否需求清洗以及卡點是否需求替換，將需清洗的石墨舟交由設備人員清洗。
     3、石墨舟損壞后，由出產人員取出石墨舟內悉數的硅片，并運用CDA（壓縮空氣）對石墨舟內碎片進行收拾，結束后設備人員將其抬入現已配好必定比例HF溶液的酸槽中進行清洗。  
二、石墨舟的清洗
     1、翻開酸槽排水閥，待廢酸排盡，用水槍對酸槽進行沖刷。  
     2、關上閥門，將石墨舟放進酸槽中，翻開進水閥門，往酸槽里放入純水直到水能夠吞沒石墨舟接連，關閉水閥。然后在酸槽加入HF酸（4瓶），把清洗機的窗戶關好，然后初步清洗（要在酸中浸泡6個小時左右）。清洗過程中戴好防酸堿手套，將石墨舟從酸槽中取出檢查是否清洗潔凈，假如到時刻還未洗潔凈，再繼續(xù)清洗，直到潔凈接連。  
     3、清洗潔凈之后，放入水槽，用水槍沖刷后關上排水閥，放水，以水沒過舟為準， 漂洗一般需2個小時。  
     4、清洗結束后，將石墨舟從水槽中取出，用氣槍吹掉表面顯著的水珠。
     5、將石墨舟抬入專用烘箱，關上烘箱門鎖緊；翻開電源開關—風機開關—升溫開關—報警開關；溫控表設定溫度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小時（經過查驗石墨舟在烘箱烘干后與運用前的石墨舟無差別方可取出）。  
     6、設定溫度20度，一般降溫半個小時烘箱里的石墨舟抵達常溫，能夠取出。  
     7、將石墨舟上的悉數螺母扭緊并檢查石墨舟悉數的陶瓷件，需求替換工藝點的石墨舟，取出后需求入修補間專用貨架等候修補。

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